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至純科技6月29日在互動平臺回答投資者提問時表示，公司制程設備覆蓋半導體領域的各類設備，以濕法清洗設備為主。公司濕法清洗設備在28納米全部工藝工序段已通過驗證并有重復訂單。
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至純科技：公司濕法清洗設備在28納米全部工藝工序段已通過驗證并有重復訂單|環球報道
2023-06-30 23:21:54
來源：上海證券報·中國證券網
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